紫外激光的波长短，能量聚集集中，分辨率高，特别是具有“冷加工”的特性，能直接破坏连接物质的化学键，而不产生对外围的加热，因此成为加工脆弱物质的理想工具，并能对多种材料进行打孔、切割、烧蚀，在微加工领域中具有广泛的应用。
紫外激光器主要有三种。
第一种是固态、调Q Nd:YAG激光器，其中特殊的晶体被用来把红外1064 nm波长的光转变成紫外353 nm波长的光。光束形状是高斯型，所以光斑是圆形的，能量从中心到边缘逐渐下降。由于短波长和光束质量限制，光束可以聚焦的大小在10 μm量级。大体上，像全固化激光器一样，紫外激光器对温度变化是很敏感的。在冷启动后，需要长达30分钟来达到足够的稳定性。因此，这些激光器通常有特殊的待机条件，这样所有关键的元件保持在工作温度。高重复频率和小的聚焦光斑使得激光器很适合进行小尺寸的加工。
第二种紫外激光器是气体激光器，准分子激光器。该激光器的波长依赖于所使用的气体混合物类型（如表格所示）。产生的光束不是圆的而是矩形的，光束截面上强度大体上是一致的，在边缘上忽然下降。可以使用掩膜技术来产生不同的几何形状的光斑。加工的细节可以小到几个微米，而聚焦的光学期间和工件之间的距离可以大到50到100 mm。也可使用全息术来产生具体的光束能量图样。
第三种紫外激光器是金属蒸汽激光器。虽然几种其它金属蒸汽也可以用，但是主要使用铜蒸汽。铜蒸汽激光器产生波长为511 nm和578 nm的辐射。此外，还利用混频和倍频来产生波长为255 nm，271 nm，289 nm的紫外辐射。光束分布是高斯分布，这使得该激光器很适用于和其他固态紫外激光器的一样的适用范围。
和其他类型的激光器一样，紫外激光器适合于一个特定的应用领域。它们很适合用在小尺寸、高质量的场合。该技术也开辟了尚无可用技术的新应用领域。可以肯定的是，将来我们会看到大量我们今天想都没有想过的新应用。与可见可红外激光相比，该技术相对较低的处理率将促使激光器制造商开发具有更高平均功率的激光器。这将降低该技术的成本。
